"Keysight 10774A 短距離直線(xiàn)度光器件結(jié)合了直線(xiàn)度干涉儀和反射鏡，可在高達(dá) 3 米（10 英尺）的行程距離內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。 該光器件構(gòu)成了一個(gè)高度精確的光學(xué)直角尺，可以測(cè)量機(jī)床行程和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)的直線(xiàn)度，分辨率為 0.04 微米（1 uin）。

Keysight 10774A（與　Keysight 5530 校準(zhǔn)系統(tǒng)配合使用）是一個(gè)大型元器件，可對(duì)干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行量身定制以滿(mǎn)足每個(gè)應(yīng)用的物理版圖和測(cè)量要求。

• 直線(xiàn)度測(cè)量精度
• 總體精度 = 光參考精度 + 測(cè)量精度。
• 與使用直角尺和指示器進(jìn)行直線(xiàn)度測(cè)量的傳統(tǒng)方法類(lèi)似，光參考精度相當(dāng)于直角尺精度，而測(cè)量精度相當(dāng)于指示器精度。
• 光參考精度
• 直角尺（反射鏡）反轉(zhuǎn)技術(shù)可消除光參考不確定度。
• 公制單位模式： 0.15 M2 µm
• 英制單位模式： 0.5 F2 µin
• 測(cè)量精度
• 溫度范圍顯示值： 0 µm 至 10 µm，10 至 1,500 µm
• 0 µm 至 400 µm，400 至 60,000 µm
• 15°C 至 25°C，±3.5%±1%±0.25 µm（10 µin）
• 0°C 至 40°C，±6%±1%±0.5 µm（20 µin）
• 直線(xiàn)度測(cè)量分辨率
• Keysight 5519A、Keysight 5519B
• 短距離： 0.01 µm（0.4 µin）、0.04 µm（1.4 µin）
• 直線(xiàn)度測(cè)量范圍（正交至軸向移動(dòng)）
• ±1.5 mm（0.060 英寸）
• 軸向分離（移動(dòng)）
• （干涉儀和反射鏡之間的距離，典型值，經(jīng)過(guò)恰當(dāng)?shù)膶?duì)準(zhǔn)，15°C 至 25°C）：
• 短距離光器件： 0.1 m 至 3 m（4 英寸至 120 英寸）
• 高分辨率平面反射鏡
• 與對(duì)準(zhǔn)激光器相比，對(duì)空氣擾動(dòng)的反應(yīng)更加精確、靈敏度更低
• 單獨(dú)提供或作為 Keysight 55283A 直線(xiàn)度測(cè)量套件的一部分