Keysight/10898D/用于VME的2軸高分辨率激光軸板

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詳細(xì)資料：

主要特性與技術(shù)指標(biāo)
一般

每板的軸數(shù)：2
每個(gè)系統(tǒng)的最大板數(shù)：7（對于較大的板組，請參考鍵盤）
36位2的補(bǔ)碼
高分辨率光學(xué)分辨率高達(dá)0.3 nm
最大線性干涉儀速度（必須使用E1709A接收機(jī)）：2.2 m / s
使用平面鏡光學(xué)元件

分辨率：0.6nm
工作范圍：±10.6 m
定時(shí)

位置更新速率：10 MHz
背板數(shù)據(jù)速率：> 100 kHz
多板同步：±2 ns
特殊功能

靈活的硬件IO
用于多軸系統(tǒng)的簡化和可編程的Ref和Meas信號路由
在一個(gè)6U板上基本上兩個(gè)增強(qiáng)型10897D軸
描述
10898D 2軸高分辨率激光軸板提供與Keysight 10897D高分辨率激光軸板相同的分辨率，具有更高的壓擺率和降低的噪聲。與先前的激光系統(tǒng)相比，增加的級速度限制和低噪聲為諸如IC制造設(shè)備的高級應(yīng)用提供了優(yōu)異的定位重復(fù)性和精度。

儀器保證：

我們的大多數(shù)設(shè)備在裝運(yùn)之前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測與校驗(yàn)。也可申請國家計(jì)量證書。