其它/DWL66+/求購|Heidelberg DWL66+ 激光刻錄機(jī)

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詳細(xì)資料：

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描述：

全自動 DWL 66+ 激光寫入系統(tǒng)位于環(huán)境室內(nèi)，通過受控的層流氣流和溫度穩(wěn)定性為系統(tǒng)提供穩(wěn)定的環(huán)境。該腔室位于花崗巖底座上，帶有用于隔振的氣墊。該光學(xué)系統(tǒng)包括高反射鏡和聲光調(diào)制器，用于實(shí)時光束校正。半導(dǎo)體激光管為 405 nm。有兩種寫入模式可供選擇：寫入模式 I（最小特征尺寸為 0.6 um）和寫入模式 III（最小特征尺寸為 1.0um）。

規(guī)格：

• 最大基板尺寸為 9 英寸 x 9 英寸

• 最小基板尺寸 10x10mm2

• 最大寫入?yún)^(qū)域?yàn)?200x 200 mm2

• 基板厚度可達(dá) 6 毫米

• 干涉儀分辨率 10 nm

• 最小特征尺寸為 0.6 um（寫入模式 I）和 1 um（寫入模式 III）。

• 多種數(shù)據(jù)輸入格式（DXF、CIF、GDSII 和 Gerber 文件）

• 具有宏觀和微觀自動對準(zhǔn)和測量功能的相機(jī)系統(tǒng)

儀器保證：

我們的大多數(shù)設(shè)備在裝運(yùn)之前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測與校驗(yàn)。也可申請國家計(jì)量證書。