基本特點
• 基于 PC 的儀器，帶觸摸屏界面;可選的 USB 鍵盤和鼠標•
EasyEXPERT 軟件，儀器提供 200 多種分類應(yīng)用測試
• 執(zhí)行電流與電壓 （IV） 測量
• 執(zhí)行電容與電壓 （CV）、電容與時間 （Ct） 和電容與頻率 （Cf） 的測量
• 執(zhí)行準靜態(tài) CV （QSCV） 測量
• 具有 ALWG 和電壓監(jiān)控功能，最高可達 40 V。
• 執(zhí)行與應(yīng)用波形同步的快速 IV 測量，以實現(xiàn)精確的瞬態(tài) IV 或時域測量
• 支持前面板經(jīng)典測試測量模式：單通道掃描、多通道掃描、時間采樣、列表掃描、CV 掃描和直接控制 （GPIB FLEX）
• 基于 GUI 的 Agilent B2200A 和 B2201A 開關(guān)矩陣控制
• 模塊化主機，具有 10 個模塊插槽和 1 個 4.2 A 接地單元
• 提供多種源/監(jiān)控單元 （SMU） 類型：中等功率 （MPSMU）、高功率 （HPSMU） 和高分辨率 （HRSMU）
• 提供
多頻電容測量單元 （MFCMU）• 提供
高壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元 （HV-SPGU）• 提供
波形發(fā)生器/快速測量單元 （WGFMU）• 高分辨率模數(shù)轉(zhuǎn)換器 （ADC） 可用于所有已安裝的
SMU• 每個已安裝的 SMU
上都有高速 ADC• 在傳感器和開關(guān)單元 （ASU）
上支持 SMU/AUX 路徑切換• 使用 SMU CMU 統(tǒng)一單元 （SCUU） 和保護開關(guān)單元 （GSWU） 支持 SMU/MFCMU 切換•
MFCMU 自動識別電容測量附件
• 遙感和開關(guān)單元 （RSU）
支持 WGFMU/SMU 路徑切換• 用于儀器控制的
GPIB 端口• 自檢、自校準、診斷