Agilent/HP/B1500A/半導(dǎo)體器件分析儀

• Agilent/HP/B1500A/半導(dǎo)體器件分析儀
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詳細(xì)資料：

B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀

特點(diǎn)和好處

• 較高的IV測(cè)試性能：0.1fA/0.5uV測(cè)量分辨率。
• 支持到5MHZ的CV測(cè)試的CMU。
• EasyEXPERT軟件提供創(chuàng)新的、面向任務(wù)的參數(shù)測(cè)試
• CV-IV開(kāi)關(guān)選件可以達(dá)到0.5uV的電壓測(cè)試分辨率和10 fA，1 fA或0.1 fA電流測(cè)試分辨率
• 用內(nèi)置的半自動(dòng)晶圓探針驅(qū)動(dòng)和測(cè)試序列容易測(cè)試自動(dòng)化
• 10ns的脈沖IV解決方案可以表征高K介質(zhì)和SOI晶體管。
• 經(jīng)典的測(cè)試模式又類(lèi)似于4155/4156的界面，體現(xiàn)了Microsoft Windows GUI的特點(diǎn)。

模塊選擇指導(dǎo)

模塊	HPSMU (B1510A)	MPSMU (B1511A)	HRSMU (B1517A)	ASU (E5288A)	MFCMU (B1520A)
占用插槽	2	1	1	NA	1
最大激勵(lì)電壓	200 V	100 V	100 V	100 V	NA
最大激勵(lì)電流	1 A	100 mA	100 mA	100 mA	NA
電壓測(cè)量分辨率	2 µV	0.5 µV	0.5 µV	0.5 µV	NA
電流測(cè)量分辨率	10 fA	10 fA	1 fA	100 aA	NA
最小/ 最大電容測(cè)量頻率	NA	NA	NA	NA	1 kHz to 5 MHz
最大電容測(cè)量DC偏置能力	NA	NA	NA	NA	100 V

儀器保證：

我們的大多數(shù)設(shè)備在裝運(yùn)之前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)與校驗(yàn)。也可申請(qǐng)國(guó)家計(jì)量證書(shū)。