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    其它/布魯克(Bruker) AFP 原子力顯微鏡/布魯克(Bruker) AFP 原子力顯微鏡

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    布魯克(Bruker) AFP 原子力顯微鏡/其它縮略圖

    詳細資料:

    ,

    InSight AFP 是世界上性能最高、行業(yè)首選的 CMP 輪廓和蝕刻深度計量系統(tǒng),適用于先進技術(shù)節(jié)點。其現(xiàn)代化的尖端掃描儀與固有穩(wěn)定的電容式真空計和精確的空氣軸承定位系統(tǒng)相結(jié)合,可以在模具的有效區(qū)域進行無損、直接的測量。

     

    
    

     

     

    Insight AFP 結(jié)合了原子力顯微鏡的最新創(chuàng)新技術(shù),包括布魯克專有的 CDMode,用于表征側(cè)壁特征和粗糙度。CDmode 減少了所需的橫截面量,從而顯著節(jié)省了成本。此外,AFP 數(shù)據(jù)提供了通過其他技術(shù)無法獲得的直接側(cè)壁粗糙度測量。

     

    當(dāng)今領(lǐng)先 IC 的器件殺傷缺陷比以往任何時候都小,需要快速分辨率以滿足 HVM 需求。InSight AFP 提供有關(guān)半導(dǎo)體晶片和 phtomasks 缺陷的快速、可操作的形貌和材料信息,使制造商能夠快速識別缺陷來源并消除它們對生產(chǎn)的影響。

    100 倍高分辨率配準光學(xué)器件和 AFM 全局對準使圖案化晶圓和掩模的原始圖像放置精度低于 ± 250 nm,確保感興趣的缺陷是被測缺陷。

    該系統(tǒng)與 KLARITY 和大多數(shù)其他 YMS 系統(tǒng)完全兼容。

     

    波蘭熱點檢測后 - 掃描速率:26 毫米/秒;掃描線數(shù):33,000
     

    高達 36,000 μm/s 的輪廓分析速度可實現(xiàn)快速、完整的 3D 后 CMP 表征和檢測,適用于完整的 33 mm x 26 mm 及更大的閃光場。亞 2 nm 的平面外運動,用于真正的大規(guī)模形貌和全自動拋光后熱點檢測。

    在此示例中,在 24 小時內(nèi)以 1 微米 x 1 微米的像素尺寸采集了完整的標準 26 mm x 33 mm 標線視野掃描。然后,可以使用布魯克的熱點檢測和審查功能自動檢測并重新掃描熱點。

     

    Insight AFP 結(jié)合了原子力顯微鏡的最新創(chuàng)新技術(shù),包括布魯克專有的 CDMode,用于表征側(cè)壁特征和粗糙度。CDmode 減少了所需的橫截面量,從而顯著節(jié)省了成本。此外,AFP 數(shù)據(jù)提供了通過其他技術(shù)無法獲得的直接側(cè)壁粗糙度測量。

    儀器保證:

    我們的大多數(shù)設(shè)備在裝運之前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測與校驗。也可申請國家計量證書。

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