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Agilent/10898A/安捷倫 10898A 雙激光軸板

Agilent/10898A/安捷倫 10898A 雙激光軸板
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詳細(xì)資料：

產(chǎn)品描述：

10898A 雙通道激光軸板提供與 10897B 高分辨率激光軸板相同的分辨率，但轉(zhuǎn)換速率更高，噪聲更低。與以前的激光系統(tǒng)相比，更高的載物臺速度限制和低噪聲為 IC 制造設(shè)備等高級應(yīng)用提供了卓越的定位可重復(fù)性和精度。與前代產(chǎn)品 10897B 一樣， 10898A 采用高分辨率平面鏡干涉儀，可提供 lambda/2048（0.3 nm）的測量分辨率

特點(diǎn)：

靈活的硬件 IO

多軸系統(tǒng)的 Ref 和 Meas 信號的簡單可編程路由

36 位、2 位補(bǔ)碼硬件位置輸出 @ 10 MHz

本質(zhì)上是一塊 6U 板上的兩個增強(qiáng)型 10897C 軸。