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其它/PicoMaster ATE-200/其他 PicoMaster ATE-200 多功能紫外激光寫入器

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詳細(xì)資料：

產(chǎn)品描述：

PicoMaster ATE-200 是一款具有超高精度組件的多功能紫外激光寫入器，專為用戶提供在感光層中創(chuàng)建最高自由度的微結(jié)構(gòu)而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)的光柵化工作原理，搭配上高速掃描以及可調(diào)螺距步進(jìn)激光頭，確保了整個(gè)曝光制程在感光層表面準(zhǔn)確而穩(wěn)定地完成。

特點(diǎn)：

系統(tǒng)支持高達(dá)4095級的灰度、純二進(jìn)制模式:
系統(tǒng)最大支持9英寸基版，400毫米1秒掃描速度，200x200毫米曝光面積
系統(tǒng)連接到空氣溫度調(diào)節(jié)器機(jī)組開始供應(yīng)空調(diào)空氣時(shí)，內(nèi)置堆式過濾器將產(chǎn)生干凈的交叉氣流;
系統(tǒng)對準(zhǔn)精度最高小于250納米，線寬均勻性小于50納米;
系統(tǒng)采取全封閉結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，必需的部件、控制架構(gòu)和真空泵都在外殼內(nèi)，便于快速安裝
系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)平臺由機(jī)械緩振系統(tǒng)支撐，它將過濾掉絕大多數(shù)的噪音振動(dòng)，以確保工作時(shí)的振動(dòng)最小。