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其它/PicoMaster ATE-200/其他 PicoMaster ATE-200 多功能紫外激光寫入器
- 其它/PicoMaster ATE-200/其他 PicoMaster ATE-200 多功能紫外激光寫入器
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詳細(xì)資料:
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產(chǎn)品描述:
PicoMaster ATE-200 是一款具有超高精度組件的多功能紫外激光寫入器,專為用戶提供在感光層中創(chuàng)建最高自由度的微結(jié)構(gòu)而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)的光柵化工作原理,搭配上高速掃描以及可調(diào)螺距步進(jìn)激光頭,確保了整個(gè)曝光制程在感光層表面準(zhǔn)確而穩(wěn)定地完成。
特點(diǎn):
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系統(tǒng)支持高達(dá)4095級的灰度、純二進(jìn)制模式:
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系統(tǒng)最大支持9英寸基版,400毫米1秒掃描速度,200x200毫米曝光面積
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系統(tǒng)連接到空氣溫度調(diào)節(jié)器機(jī)組開始供應(yīng)空調(diào)空氣時(shí),內(nèi)置堆式過濾器將產(chǎn)生干凈的交叉氣流;
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系統(tǒng)對準(zhǔn)精度最高小于250納米,線寬均勻性小于50納米;
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系統(tǒng)采取全封閉結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),必需的部件、控制架構(gòu)和真空泵都在外殼內(nèi),便于快速安裝
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系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)平臺由機(jī)械緩振系統(tǒng)支撐,它將過濾掉絕大多數(shù)的噪音振動(dòng),以確保工作時(shí)的振動(dòng)最小。
儀器保證:
我們的大多數(shù)設(shè)備在裝運(yùn)之前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測與校驗(yàn)。也可申請國家計(jì)量證書。